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無塵車間是污染控制的基礎，是一間具備了空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間。在無塵車間極高的硅晶片制造鏈中，必須是一個無污染源的環境、超潔凈的車間，硅晶片零件才能夠正常批量生產。
我國的無塵車間發展起步與國外相比較晚，近二十年來，隨著越來越多外企在國內開辦或合資開辦企業，一些高新技術對生產環境的要求提高，為了提升競爭力，各個行業也開始追求無塵車間的質量。
正確、合理的設計是保證無塵車間穩定運行的前提，在實際使用中，不正確的維護操作和不規范的管理都會使無塵車間的空氣潔凈度降低，造成無塵車間指標達不到要求。因此，正確科學地進行無塵車間維護和管理非常重要，并且這要從各方面來完善。
人員控制
經測試分析，無塵車間的微污染中80%是工作人員帶來的。當工作人員進出無塵車間時塵埃有顯著增加，潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進入無塵車間前要做好清潔擦拭等防塵動作，且企業也要對工作人員進行培訓，并制定相應的章程和制度等。
物品管理
工作人員會帶入塵埃，那么所有的物料及設備也會影響無塵車間的清潔。在物流和設備進入時，要做到不將任何微粒或微生物帶入室內。工作人員要在無塵車間內穿著潔凈衣服，用無塵紙擦拭物料和設備。搬運時也要為地板鋪上已經清潔過的不銹鋼板，防止破壞地板。
定期檢查
對于無塵車間中的各種設備，在無塵進入室內后，也要時常清潔滅菌，并且定期進行檢查，防止無塵車間內塵粒和微生物的產生、繁衍和滯留。
系統構建和維護
除了防止微塵進入，無塵車間也要設置凈化空調系統、水電系統、生產工藝設備等各類設備設施，來確保無塵車間內的空氣潔凈度級別使用符合產品生產工藝的要求。在系統正常運行中，維護也是必不可少的。比如，空氣過濾器是否疏通正常、密封墊是否牢固、送風機軸承的運行是否處于正常狀態等。每一項都影響了系統的運行，因此不可遺漏。
如今的無塵車間，為滿足各類產業的需求，大多會選擇“量身定制”。要盡可能地建造一套完善的系統，防止后續出現問題影響無塵車間的使用，且會浪費時間和金錢。很多對這方面缺乏重要性認識的企業，最后都后悔不已，然而為時已晚。
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